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      スウェージロック社は、世界で初めて開発にこぎつけたALDバルブ技術のリーディング・カンパニーとして、半導體デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお屆けしています。
      スウェージロックの超高純度用(UHP)ALDバルブの特徴:

      • サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
      • 流量係數(Cv 値) :0.27から1.7まで
      • アクチュエーター部分を含めた最高使用溫度:200°C
      • 超高純度用途に適した316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
      • エンド・コネクション:集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
      • オプション:電気式インジケーター、光學式ポジション・センサーなど

      ALDバルブを探す

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      ALD3/ALD6シリーズ・カタログ

      原子層蒸着(ALD)用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係數(Cv値)は0.62で、原子層蒸着用途での性能を最適化するための各種オプション(高溫モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブなど)を取り揃えています。

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      最高使用圧力 真空~1.00 MPa
      最高破裂圧力 22.0 MPa
      アクチュエーター作動圧力範囲 0.35~0.62 MPa
      使用溫度範囲 0~200°C
      流量係數(Cv値) 0.27、0.62
      ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
      ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
      エンド・コネクション
      タイプ(サイズ) めすVCR®面シール継手(1/4 ~1/2 インチ)
      おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ)
      集積モデル大流量用Cシール(1.125 ~1.5 インチ)

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      ALD20カタログ

      Swagleok ALD製品のラインアップに、超高純度用ALD20バルブ が加わりました。特許申請中の設計によって、対応が難しい低蒸気圧のプリカーサーを使用することが可能になりました。ALD20バルブは、超高純度用ベローズを採用することでクリーンなオペレーションを実現し、既存のALDバルブに比べて大流量に対応します。

      ALD20バルブは、アクチュエーター部分を含めバルブ全體をガス・ボックスに入れて使用することができます(使用溫度範囲:10~200°C)。

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      使用圧力範囲 真空~0.14 MPa
      最高破裂圧力 22.0 MPa
      アクチュエーター作動圧力範囲 0.49~0.62 MPa
      使用溫度範囲 10~200°C
      流量係數(Cv値) 1.2(集積モデル)または
      1.7(ストレート型)
      ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼または合金22
      ベローズ材質 合金22(0.13 µm Ra仕上げ)
      エンド・コネクション
      タイプ(サイズ) めすVCR®面シール継手(1/2 インチ)
      回転可能型おすVCR面シール継手(1/2 インチ)
      チューブ突き合わせ溶接、長さ:12.7 mm(1/2 インチ×肉厚1.24 mm)
      集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ)

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      ALDバルブ・カタログ

      ご質問がございましたら、  スウェージロック指定販売會社までお問い合わせください。

      安全な製品の選定について:システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全體の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、數値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

      ご注意:2個のフェルールを使用しているSwagelokチューブ継手は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。

      
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